三、高纯铜溅射靶材受瞩目,彰显技术实力
此外,华芯腾科技还展出了其自主研发的高纯溅射靶材。华芯腾科技通过不懈的努力和技术创新,这些年在靶材先进生产工艺上实现了技术突破, 产品质量媲美欧美头部企业同类产品。首先,华芯腾在靶材生产所需的超高纯原材料方面,厚积薄发,通过不断推陈出新的工艺优化和技术创新,在国内率先开发出了超高纯铜原材料,铜的纯度达到 5N 和 6N,为后续靶材的生产提供了原材料纯度的品质保障。溅射薄膜的纯度与溅射靶材的纯度密切相关,为了满足半导 体更高精度、更细小微米工艺的需求,所需要的溅射靶材纯度不断攀升,甚至达 到 99.9999% (6N)纯度以上。其次,华芯腾科技的靶材在氮氧等气体元素,尤其 是氧含量的控制方面,达到了极致,在行业内首先做到了氧含量稳定小于 5ppm 的苛刻要求,实际氧含量在 2ppm 左右,为半导体磁控溅射对于靶材氧含量的极致苛刻要求提供了有利的保障。再者,华芯腾科技的靶材在晶粒粒径上能够确保小于50um,同时确保晶粒取向一致;该指标远远优于行业内的标准,并超越了欧美老牌企业的产品标准,赢得了业内人士的一致好评,成为半导体行业的新宠,为产业发展注入了新的活力。
在未来,华芯腾科技将继续秉承“诚信、高效、创新、服务”的企业理念,不断推出更多高品质、高技术的产品,为全球半导体产业的持续发展贡献更多力量。让我们共同期待华芯腾科技在未来的精彩表现!