华芯腾《一种6N旋转靶材及其制备方法》专利申请通过

四川华芯腾科技股份有限公司近日向国家知识产权局提交【一种6N旋转靶材及其制备方法】的专利申请(申请专利号:202011254987.1),经审查,该专利申请符合专利法实施细则第46条规定, 专利申请进入公布准备程序。